매스 플로는 기본적으로 N2 가스로 유량 교정되어 출하가 됩니다.

열식 센서는 원칙적으로는 실가스 교정이 된 것 밖에 정밀도는 보증할 수 없습니다.

현재 폐사에서 실가스 교정이 가능한 것은 N2, O2, H2, He, CO2, Ar입니다.

기타 가스에 대해서는 N2에 대한 일정한 변환계수 = 컨버전 팩터(CF)를 이용하여 N2 가스로 교정합니다.

예를 들어 N2에서 교정된 매스를 이용해 Ar을 흘렸을 경우 Ar의 C.F.를 1.4라고 하면 매스플로의 지시치보다 실제로는 1.4배 많이 흐릅니다.

즉 Ar유량=1.4×N2매스 플로우의 유량표시가 됩니다.

CF는 계산상, 혹은 실가스 측정에 의한 데이터의 축적으로 여러 가스에 대해 내고 있습니다만

실제 가스의 상태(온도, 압력), 마스플로의 센서방식, 바이패스(층류소자)의 조합에 따라 하나의 가스이기도 한 편차가 있거나 복수 존재하기도 합니다.

공표되어 있는 CF는 어디까지나 기준적인 사용법으로 생각해 주셨으면 합니다.

CF를 이용하지 않고 어디까지나 실가스 교정을 희망할 경우에는 실가스를 제공하는 형태를 취해서 교정을 실시합니다.

단 일부 위험가스에 대해서는 제품, 설비 등의 관련으로 요청에 부응할 수 없는 경우도 있으므로 사전에 폐사로 확인하시기 바랍니다.